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Mikrotechnologie

Modulbezeichnung: Mikrotechnologie
Modulbezeichnung (engl.): Microfabrication
Studiengang: Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2005
Code: MST408
SWS/Lehrform: 2V+1PA (3 Semesterwochenstunden)
ECTS-Punkte: 3
Studiensemester: 4
Pflichtfach: ja
Arbeitssprache:
Deutsch
Prüfungsart:
Zuordnung zum Curriculum:
MST408 Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2005, 4. Semester, Pflichtfach
Arbeitsaufwand:
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 45 Veranstaltungsstunden (= 33.75 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 3 Creditpoints 90 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 56.25 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen (Module):
MST101 Mechanik, Elektrizität, Optik
MST303 Werkstoffwissenschaften


[letzte Änderung 06.08.2012]
Als Vorkenntnis empfohlen für Module:
Modulverantwortung:
Prof. Dr. Günter Schultes
Dozent: Prof. Dr. Günter Schultes

[letzte Änderung 01.10.2005]
Lernziele:
Es werden die Potenziale der mikrotechnologischen Fertigungsweisen dargestellt. Die Studierenden lernen die Voraussetzungen, Bedingungen und Möglichkeiten der Mikrotechnik kennen. Die für diesen Bereich wichtigsten Schlüsseltechnologien werden erarbeitet.

[letzte Änderung 24.05.2007]
Inhalt:
1.        Einleitung und Abgrenzung der Mikrotechnologien
2.        Werkstoffe und Substratherstellung
3.        Vakuumtechnik; Notwendigkeit, Kenngrößen, Erzeugung, Messung
4.        Schichttechnologien
4.1        Dünnschichtverfahren mittels PVD und CVD
4.2        Thermische Oxidation
4.3        Dickschichtverfahren        
5.        Strukturierungsverfahren
6.        Mikromechanik und Mikrosystemtechnik
7.        Abformtechnik und Galvanik, LIGA-Technik
8.        Mess- und Analyseverfahren der Mikrotechniken
9.        Notwendige Infrastruktur und Investitionen sowie Dienstleisterpotentiale
         
         
         


[letzte Änderung 24.05.2007]
Literatur:
- Grundlagen der Vakuumtechnik, Fa. Leybold Köln Eigenverlag, 1997
- F. Völkllein, T. Zetterer; Einführung in die Mikrosystemtechnik, Vieweg Verlag
- W. Menz, J. Mohr, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Wiley-VCH 1997
- G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag 1997
- U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag 2000
- W.-J. Fischer, Mikrosystemtechnik, Vogel Fachbuch, 2000
- Beschichten mit Hartstoffen, VDI-Verlag 1992
- W. Krause, Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik, C. Hanser Verlag 1995
- H. Schaumburg, Werkstoffe, Teubner Verlag 1990
- H.Eigler, W.Beyer, Moderne Produktionsprozesse der Elektrotechnik, Elektronik und Mikrosystemtechnik, Expert Verlag 1996
- M. Madou, Fundamentals of Micorfabrication, CRC-Press, 1997
- Mohamed Gad-el-Hak, The MEMS Handbook, CRC Press, 2002


[letzte Änderung 24.05.2007]
[Wed Nov 25 07:05:14 CET 2020, CKEY=mitech, BKEY=mst, CID=MST408, LANGUAGE=de, DATE=25.11.2020]