htw saar Piktogramm QR-encoded URL
Zurück zur Hauptseite Version des Moduls auswählen:
Lernziele hervorheben XML-Code

Mikrotechnologie

Modulbezeichnung:
Bezeichnung des Moduls innerhalb des Studiengangs. Sie soll eine präzise und verständliche Überschrift des Modulinhalts darstellen.
Mikrotechnologie
Modulbezeichnung (engl.): Microfabrication
Studiengang:
Studiengang mit Beginn der Gültigkeit der betreffenden ASPO-Anlage/Studienordnung des Studiengangs, in dem dieses Modul zum Studienprogramm gehört (=Start der ersten Erstsemester-Kohorte, die nach dieser Ordnung studiert).
Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2005
Code: MST408
SWS/Lehrform:
Die Anzahl der Semesterwochenstunden (SWS) wird als Zusammensetzung von Vorlesungsstunden (V), Übungsstunden (U), Praktikumsstunden (P) oder Projektarbeitsstunden (PA) angegeben. Beispielsweise besteht eine Veranstaltung der Form 2V+2U aus 2 Vorlesungsstunden und 2 Übungsstunden pro Woche.
2V+1PA (3 Semesterwochenstunden)
ECTS-Punkte:
Die Anzahl der Punkte nach ECTS (Leistungspunkte, Kreditpunkte), die dem Studierenden bei erfolgreicher Ableistung des Moduls gutgeschrieben werden. Die ECTS-Punkte entscheiden über die Gewichtung des Fachs bei der Berechnung der Durchschnittsnote im Abschlusszeugnis. Jedem ECTS-Punkt entsprechen 30 studentische Arbeitsstunden (Anwesenheit, Vor- und Nachbereitung, Prüfungsvorbereitung, ggfs. Zeit zur Bearbeitung eines Projekts), verteilt über die gesamte Zeit des Semesters (26 Wochen).
3
Studiensemester: 4
Pflichtfach: ja
Arbeitssprache:
Deutsch
Prüfungsart:


[noch nicht erfasst]
Verwendbarkeit / Zuordnung zum Curriculum:
Alle Studienprogramme, die das Modul enthalten mit Jahresangabe der entsprechenden Studienordnung / ASPO-Anlage.

MST408 Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2005 , 4. Semester, Pflichtfach
Arbeitsaufwand:
Der Arbeitsaufwand des Studierenden, der für das erfolgreiche Absolvieren eines Moduls notwendig ist, ergibt sich aus den ECTS-Punkten. Jeder ECTS-Punkt steht in der Regel für 30 Arbeitsstunden. Die Arbeitsstunden umfassen Präsenzzeit (in den Vorlesungswochen), Vor- und Nachbereitung der Vorlesung, ggfs. Abfassung einer Projektarbeit und die Vorbereitung auf die Prüfung.

Die ECTS beziehen sich auf die gesamte formale Semesterdauer (01.04.-30.09. im Sommersemester, 01.10.-31.03. im Wintersemester).
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 45 Veranstaltungsstunden (= 33.75 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 3 Creditpoints 90 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 56.25 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen (Module):
MST101 Mechanik, Elektrizität, Optik
MST303 Werkstoffwissenschaften


[letzte Änderung 06.08.2012]
Als Vorkenntnis empfohlen für Module:
Modulverantwortung:
Prof. Dr. Günter Schultes
Dozent/innen: Prof. Dr. Günter Schultes

[letzte Änderung 01.10.2005]
Lernziele:
Es werden die Potenziale der mikrotechnologischen Fertigungsweisen dargestellt. Die Studierenden lernen die Voraussetzungen, Bedingungen und Möglichkeiten der Mikrotechnik kennen. Die für diesen Bereich wichtigsten Schlüsseltechnologien werden erarbeitet.

[letzte Änderung 24.05.2007]
Inhalt:
1.        Einleitung und Abgrenzung der Mikrotechnologien
2.        Werkstoffe und Substratherstellung
3.        Vakuumtechnik; Notwendigkeit, Kenngrößen, Erzeugung, Messung
4.        Schichttechnologien
4.1        Dünnschichtverfahren mittels PVD und CVD
4.2        Thermische Oxidation
4.3        Dickschichtverfahren        
5.        Strukturierungsverfahren
6.        Mikromechanik und Mikrosystemtechnik
7.        Abformtechnik und Galvanik, LIGA-Technik
8.        Mess- und Analyseverfahren der Mikrotechniken
9.        Notwendige Infrastruktur und Investitionen sowie Dienstleisterpotentiale
         
         
         


[letzte Änderung 24.05.2007]
Literatur:
- Grundlagen der Vakuumtechnik, Fa. Leybold Köln Eigenverlag, 1997
- F. Völkllein, T. Zetterer; Einführung in die Mikrosystemtechnik, Vieweg Verlag
- W. Menz, J. Mohr, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Wiley-VCH 1997
- G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag 1997
- U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag 2000
- W.-J. Fischer, Mikrosystemtechnik, Vogel Fachbuch, 2000
- Beschichten mit Hartstoffen, VDI-Verlag 1992
- W. Krause, Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik, C. Hanser Verlag 1995
- H. Schaumburg, Werkstoffe, Teubner Verlag 1990
- H.Eigler, W.Beyer, Moderne Produktionsprozesse der Elektrotechnik, Elektronik und Mikrosystemtechnik, Expert Verlag 1996
- M. Madou, Fundamentals of Micorfabrication, CRC-Press, 1997
- Mohamed Gad-el-Hak, The MEMS Handbook, CRC Press, 2002


[letzte Änderung 24.05.2007]
 
[Tue Apr 23 08:36:54 CEST 2024, CKEY=mitech, BKEY=mst, CID=MST408, LANGUAGE=de, DATE=23.04.2024]