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Modulbezeichnung (engl.):
Microfabrication |
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Code: MST408 |
2V+1PA (3 Semesterwochenstunden) |
3 |
Studiensemester: 4 |
Pflichtfach: ja |
Arbeitssprache:
Deutsch |
Prüfungsart:
[noch nicht erfasst]
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MST408 Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2005
, 4. Semester, Pflichtfach
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Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 45 Veranstaltungsstunden (= 33.75 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 3 Creditpoints 90 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 56.25 Stunden zur Verfügung.
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Empfohlene Voraussetzungen (Module):
MST101 Mechanik, Elektrizität, Optik MST303 Werkstoffwissenschaften
[letzte Änderung 06.08.2012]
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Als Vorkenntnis empfohlen für Module:
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Modulverantwortung:
Prof. Dr. Günter Schultes |
Dozent/innen: Prof. Dr. Günter Schultes
[letzte Änderung 01.10.2005]
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Lernziele:
Es werden die Potenziale der mikrotechnologischen Fertigungsweisen dargestellt. Die Studierenden lernen die Voraussetzungen, Bedingungen und Möglichkeiten der Mikrotechnik kennen. Die für diesen Bereich wichtigsten Schlüsseltechnologien werden erarbeitet.
[letzte Änderung 24.05.2007]
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Inhalt:
1. Einleitung und Abgrenzung der Mikrotechnologien 2. Werkstoffe und Substratherstellung 3. Vakuumtechnik; Notwendigkeit, Kenngrößen, Erzeugung, Messung 4. Schichttechnologien 4.1 Dünnschichtverfahren mittels PVD und CVD 4.2 Thermische Oxidation 4.3 Dickschichtverfahren 5. Strukturierungsverfahren 6. Mikromechanik und Mikrosystemtechnik 7. Abformtechnik und Galvanik, LIGA-Technik 8. Mess- und Analyseverfahren der Mikrotechniken 9. Notwendige Infrastruktur und Investitionen sowie Dienstleisterpotentiale
[letzte Änderung 24.05.2007]
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Literatur:
- Grundlagen der Vakuumtechnik, Fa. Leybold Köln Eigenverlag, 1997 - F. Völkllein, T. Zetterer; Einführung in die Mikrosystemtechnik, Vieweg Verlag - W. Menz, J. Mohr, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Wiley-VCH 1997 - G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag 1997 - U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag 2000 - W.-J. Fischer, Mikrosystemtechnik, Vogel Fachbuch, 2000 - Beschichten mit Hartstoffen, VDI-Verlag 1992 - W. Krause, Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik, C. Hanser Verlag 1995 - H. Schaumburg, Werkstoffe, Teubner Verlag 1990 - H.Eigler, W.Beyer, Moderne Produktionsprozesse der Elektrotechnik, Elektronik und Mikrosystemtechnik, Expert Verlag 1996 - M. Madou, Fundamentals of Micorfabrication, CRC-Press, 1997 - Mohamed Gad-el-Hak, The MEMS Handbook, CRC Press, 2002
[letzte Änderung 24.05.2007]
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